近日，市场监管总局组织国内科研机构完成技术攻关，我国微机电系统（MEMS）关键射频参数计量技术取得突破性进展，成功攻克长期制约产业发展的计量标准缺失、高精度测试能力不足等难题，多款自研装置核心性能达到国际先进水平，为新一代信息技术、航空航天等战略产业发展筑牢计量根基。
微机电系统是微型化智能器件的核心基础，射频参数精准计量则是保障 MEMS 器件性能、质量与可靠性的关键环节。长期以来，相关领域高端测试设备、计量方法被国外技术掣肘，国内在介电常数、太赫兹波形、电磁辐射等关键参数的高精度检测方面存在短板，一定程度上限制了国产射频 MEMS 器件的研发与产业化进程。
此次攻关中，科研团队集中力量开展技术攻坚，成功研制出基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置、MEMS 电接触和互连电参数测试装置等一系列自主化装备，全面补齐了 MEMS 全链条射频参数测试能力。整套系统实现了微小尺寸射频器件的高精度、高一致性测量，在测量范围、误差控制、复杂环境适应性等核心指标上实现跨越，彻底解决了 MEMS 关键射频参数计量测试的行业痛点。
依托技术成果，研究团队还牵头编制《皮秒级快沿 / 脉冲发生器校准规范》等 3 项国家计量技术规范，填补了国内对应领域标准空白，进一步完善了我国 MEMS 测量、仪器仪表领域的质量保障体系，构建起 “设备 + 方法 + 标准” 一体化的自主计量技术体系。
目前，该系列技术成果已率先在 5G 高频器件、光电集成器件、航空航天机载光网络等场景开展示范应用。在民用通信领域，可精准检测 5G 滤波器、射频前端等核心器件性能，助力通信终端、基站产品提质升级，推动通信产业链自主可控；在航空航天、军工电子等高端领域，能够保障机载设备、测控系统信号稳定传输与故障精准定位，提升高端装备运行可靠性。
业内专家表示，本次 MEMS 关键射频参数计量技术突破，不仅打破了国外技术垄断，补齐了我国高端精密计量领域的一块短板，更将持续赋能射频芯片、微型传感器、高频通信器件等上下游产业创新。下一步，相关技术与标准将逐步推广落地，持续释放创新动能，助力我国微机电系统产业向高端化、智能化、国产化方向加速迈进，为数字经济与高端装备制造业高质量发展提供坚实技术支撑。
